Matthias Ebert
Fachbereich 6 - Elektrotechnik, Maschinenbau und Wirtschaftsingenieurwesen
Matthias Ebert
Publikationen
- Identification of mechanical defects in MEMS using dynamic measurements for application in production monitoring / Gerbach, Ronny. - Enthalten in: Microsystem technologies, Bd. 16 (2010), 7, S.1251-1257
- Abschlussbericht "Mess- und Prüftechnik für den Test von hybrid montierten Siliziummikrosystemen für die Automobil- und Medizintechnik" im Verbundprojekt MST-Hybrid : Abschlussbericht ; Laufzeit des Vorhabens/Berichtszeitraum: 01.01.2005 - 31.12.2007 / Ebert, Matthias. - Halle (Saale), 2008
- Investigations of the influence of dicing techniques on the strength properties of thin silicon / Schoenfelder, Stephan. - Enthalten in: Microelectronics reliability, Bd. 47 (2007), 2/3, S.168-178
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Lehrbeauftragter - FB EMW
matthias.ebert(at)hs-anhalt.de