Projekt

Prof. Dr.-Ing. Norbert Bernhard - (FB6) Forschungsprojekt

Verbundprojekt Millefeuille

Auf dem Weg zu einer neuen Generation von Siliziumwafern

Seit dem 01. August 2017 forschen Prof. Bernhard und ein Team wissenschaftlicher Mitarbeiterab an der Entwicklung von Materialien und Technologien für die direkte Herstellung multipler, ultradünner Siliziumwafer. Das EFRE-Projekt, in dem auch die hallesche Firma SmartMembranes involviert ist, läuft zunächst bis zum 31. Oktober 2020. Die jungen Forscher rund um Prof. Bernhard beschäftigen sich im Rahmen des Projektes mit den wissenschaftlichen und technologischen Grundlagen für eine kosteneffiziente Produktion ultradünner monokristalliner Wafer mit dem Ziel, diese skalierbar - das heißt in die industrielle Produktion übertragbar - umzusetzen.

Arbeitsziele im Projektvorhaben

Das Ziel des Projektvorhabens MILLEFEUILLE ist die Bereitstellung von wissenschaftlichen und technologischen Grundlagen für die kosteneffiziente und skalierbare, d.h. in die Industrie übertragbare, Produktion von ultradünnen monokristallinen Siliziumwafern.

Der Schwerpunkt des Vorhabens liegt in der Entwicklung und Evaluierung neuer Verfahren und Technologien für die Fertigung ultradünner monokristalliner Siliziumwafer (10 µm - 50 µm) sowie deren wirkungsvoller Texturierung zur Erreichung einer hinreichenden Lichtabsorption für die Anwendung in der Photovoltaik.

  • Makroporöse Siliziummembranen können auf Wafer-Skala mit einer beliebigen Dicke zwischen der Gitterkonstante & Wafer-Dicke hergestellt werden.
  • Makroporöse Sackporen können verwendet werden, um kristalline Silizium-Wafer unter Verwendung des ESS-Verfahrens (- empty space in silicon -) zu bilden.
  • 3D makroporöses Silizium kann verwendet werden, um mehrere "dünne Wafer" in einem Prozessschritt zu erzeugen (Millefeuille).

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